Процессы отжига в современном полупроводниковом производстве

Поскольку технологические узлы продолжают сокращаться, формирование сверхмелких соединений представляет собой серьезную проблему. Процессы термического отжига, включаяБыстрый термический отжиг (RTA)и отжиг импульсной лампой (FLA) — жизненно важные методы, которые поддерживают высокую скорость активации примесей при минимизации диффузии, обеспечивая оптимальную производительность устройства.

1. Формирование сверхмелкого соединения:

Поскольку технологические узлы сокращаются, формирование сверхмелких соединений становится все более сложной задачей. Такие методы, как быстрый термический отжиг (РТА) и отжиг импульсной лампой (FLA) имеют решающее значение для достижения высоких скоростей активации примесей при минимизации диффузии, тем самым обеспечивая оптимальную производительность устройства.

2. Модификация затворных диэлектриков High-k:

Отжиг после осаждения (PDA) значительно улучшает электрические свойства диэлектриков затвора с высоким k. Этот процесс уменьшает токи утечки затвора и увеличивает диэлектрическую проницаемость, что жизненно важно для современных логических устройств и устройств памяти.

3. Образование силицидов металлов:

Оптимизация силицидов металлов, таких как CoSi и NiSi, важна для улучшения контактного и объемного сопротивления. Точный контроль условий отжига облегчает создание идеальных фаз сплава, повышая общую эффективность устройства.

4. Технологии 3D-интеграции:

В таких технологиях, как 3D NAND и 3D DRAM, процессы отжига должны применяться на нескольких слоях. Быстрые термические методы играют ключевую роль в обеспечении оптимальной производительности каждого слоя.

Отжиг имеет решающее значение в производстве полупроводников, обеспечивая восстановление повреждений решетки, активацию примесей, модификацию пленки и образование силицидов металлов посредством точного контроля температуры, времени и теплового баланса. Поскольку технологические узлы сокращаются, передовые методы отжига, такие какРТА, FLA и лазерный отжиг стали обычным явлением. Заглядывая в будущее, можно сказать, что процесс отжига будет продолжать совершенствоваться, чтобы удовлетворить потребности новых материалов и устройств.

Semicorex предлагает лучшие в отраслирастворы для отжига, гарантируя, что ваши полупроводниковые устройства соответствуют самым высоким стандартам производительности, точности и надежности.

Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Контактный телефон +86-13567891907.

Электронная почта: sales@semicorex.com