Различные применения кварца в производстве полупроводников.

На первый взгляд,кварцевый (SiO2) материалвнешне очень похоже на стекло, но особенностью является то, что обычное стекло состоит из многих компонентов (таких как кварцевый песок, бура, борная кислота, барит, карбонат бария, известняк, полевой шпат, кальцинированная сода и т. д.), тогда как кварц содержит только SiO2, а его микроструктура представляет собой простую сетку, состоящую из тетраэдрических структурных единиц диоксида кремния.

Поскольку количество металлических примесей, содержащихся вкварцочень мал, а его чистота чрезвычайно высока, сам кварц обладает характеристиками и преимуществами, которые не могут показать другие стекла, и известен как «корона» стеклянных материалов. Например, с точки зрения термостойкости кварц не взорвется, даже если его сразу же поместить в воду после того, как он сгорит докрасна в огне. Более конкретные преимущества заключаются в следующем:

1. Высокая термостойкость. Температура размягчения кварцевого стекла составляет около 1730 ℃, его можно использовать в течение длительного времени при температуре 1150 ℃, а максимальная температура может достигать 1450 ℃ на короткое время.

2. Коррозионная стойкость. За исключением плавиковой кислоты, кварц высокой чистоты почти не вступает в химическую реакцию с другими кислотными веществами. При высоких температурах он может противостоять коррозии от серной кислоты, азотной кислоты, соляной кислоты, царской водки, нейтральных солей, углерода и серы. Его кислотостойкость в 30 раз выше, чем у керамики, и в 150 раз выше, чем у нержавеющей стали. Особенно его химическая стабильность при высоких температурах не имеет себе равных среди других инженерных материалов.

3. Хорошая термическая стабильность. Кварц высокой чистоты имеет очень маленький коэффициент теплового расширения и выдерживает резкие перепады температур. Когда кварц высокой чистоты нагревается примерно до 1100°C, он не взрывается при помещении в воду комнатной температуры.

4. Хорошая светопроницаемость. Кварц высокой чистоты имеет хороший коэффициент пропускания света во всем спектре от ультрафиолетового до инфракрасного, а коэффициент пропускания видимого света превышает 93%, особенно в области ультрафиолетового спектра, максимальный коэффициент пропускания может достигать более 80%.

5. Хорошие показатели электроизоляции. Значение сопротивления кварца высокой чистоты в 10 000 раз превышает сопротивление обычного кварцевого стекла. Это превосходный электроизоляционный материал, обладающий хорошими электрическими свойствами даже при высоких температурах.

Благодаря этим превосходным физическим и химическим свойствам кварцевые материалы высокой чистоты широко используются в современной электронной технике, полупроводниках, средствах связи, источниках электрического света, солнечной энергетике, высокоточных измерительных приборах национальной обороны, лабораторных физических и химических приборах, ядерной энергетике, наноиндустрия и т.д. В частности, в быстро развивающейся полупроводниковой промышленности увеличиваются масштабы производства кремниевых пластин, поэтому у производителей микросхем возникает большой спрос на различные кварцевые компоненты. Однако следует также отметить, что для предотвращения загрязнения в процессе обработки необходимо обеспечивать высокую чистоту кварцевого материала во время использования.

В полупроводниковой промышленностикварцшироко используется, а изделия из кварца высокой чистоты являются важными расходными материалами при производстве пластин. Кварцевые детали, такие как тигли, хрустальные лодочки и сердцевинные трубы диффузионных печей, используемые для производства монокристаллов кремния, должны использовать изделия из кварцевого стекла высокой чистоты. Основным целевым рыночным применением кварцевых деталей в области полупроводников является процесс диффузии и травления при литье пластин. Их можно разделить на две категории: устройства с высокотемпературной зоной и устройства с низкотемпературной зоной. В качестве основных устройств используются следующие:

1. Устройства высокотемпературной зоны — это в основном печные трубы, стеклянные лодочки и т. д., используемые при диффузионном окислении и других звеньях, которые должны прямо или косвенно контактировать с кремниевыми пластинами в высокотемпературной среде; в основном это материалы из плавленого кварцевого стекла, полученные путем термической обработки;

2. Устройства низкотемпературной зоны в основном включают в себя кварцевые кольца, используемые в процессе травления, а также цветочные корзины и емкости для очистки, используемые в процессе очистки. В основном они используются в условиях низких температур. В основном они закупают газорафинированное кварцевое стекло, которое производится методом холодной обработки.

Semicorex предлагает высококачественныекварцевые деталина полупроводниковом уровне. Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Контактный телефон +86-13567891907.

Электронная почта: sales@semicorex.com