Знание консольного весла

В процессе обработки полупроводниковые пластины обычно необходимо нагревать в специальной печи. Такие печи обычно состоят из длинных тонких цилиндрических труб. Пластины располагаются в печи и реакторе таким образом, что они расположены вдоль плоскости, определяемой круговым поперечным сечением печи или реактора, и разнесены в заранее определенных, обычно равноудаленных точках вдоль центральной оси печи. печь или реактор. Для достижения такого позиционирования пластины обычно размещают на держателях с прорезями, называемых вафельными лодочками, которые размещают пластины в разнесенной конфигурации, выровненной вдоль центральной оси.

Небольшие лодки с партиями пластин, подлежащих обработке, размещаются на длинных консольных лопастях, через которые можно вставлять и извлекать трубчатые печи и реакторы. Такие весла обычно включают плоскую несущую секцию, на которой можно разместить одну или несколько небольших лодок, и длинную ручку, расположенную на одном конце плоской несущей секции, с помощью которой можно манипулировать веслами. Переходная часть обычно формируется между ручкой и несущей частью, чтобы сделать их единым целым. Кроме того, ручка должна выходить из печи или реактора, чтобы можно было манипулировать ею и вафельной лодочкой.

Позиционирование контейнера для пластин внутри печи или реактора имеет важное значение, поскольку желательно располагать центр каждой пластины как можно ближе к центральной оси печи или реактора для достижения однородных условий обработки, которым подвергаются пластины. Следовательно, изгиб лопасти, вызванный весом корабля, перевозящего вафли, должен учитываться в конструкции лопасти, тем более что лопасть поддерживается только одним концом, т. е. тем концом, который выступает из топочной камеры. В дополнение к рассмотрению конструкции лопасти, обусловленной требованиями к рабочему весу, необходимо также использовать набор зажимов, предназначенных для точного удержания расширенного конца лопасти в нужном положении. Эти зажимы должны быть достаточно прочными, чтобы удерживать лопасть точно в нужном положении, при этом быть простыми в использовании и сводить к минимуму возможность повреждения лопасти во время зажима.

Поэтому требовалась консольная лопатка, которую можно было бы использовать с большей нагрузкой, оставаясь при этом совместимым с существующими зажимными системами. Также требовалась консольная лопатка, которая демонстрировала приемлемые характеристики прогиба во всем диапазоне весовых нагрузок, с которыми ее можно было использовать.

срекомендуется использовать рекристаллизованный карбид кремния с тонким слоем CVD SiC, который отличается высокой чистотой и является лучшим выбором для компонентов при обработке полупроводников.

Семикорекс может предоставитьвысокое качествоконсольные веслаииндивидуальные услуги в соответствии с чертежами и рабочей средой.