Что такое СОИ

Кремний на изоляторе (КНИ) признан одним из решений для замены существующих монокристаллических кремниевых материалов в эпоху нанотехнологий и является основным инструментом для поддержания тенденции закона Мура. Кремний на изоляторе, технология подложки, которая заменяет традиционную объемную подложку кремния на «сконструированную» подложку, уже более 30 лет используется в специализированных приложениях, таких как системы военной и космической электроники, где КНИ имеет уникальные преимущества благодаря своим превосходным характеристикам. радиационная стойкость и скоростные характеристики.

Материалы SOI являются основой для развития технологии SOI, а развитие технологии SOI зависит от постоянного совершенствования материалов SOI. Отсутствие недорогих высококачественных материалов SOI было основным препятствием для внедрения технологии SOI в крупномасштабное промышленное производство. В последние годы, с развитием технологии подготовки материалов SOI, постепенно решается проблема материала, которая ограничивает развитие технологии SOI, которая в конечном итоге включает два типа технологии подготовки материалов SOI, а именно имплантацию с использованием кислорода (SIMOX). и технология склеивания. Технология склеивания включает в себя традиционную технологию Bond and Etch back (BESOI) и технологию Smart-cut, сочетающую инжекцию ионов водорода и склеивание, предложенную М. Брюэлем, одним из основателей SOITEC во Франции, а также технологию подготовки материала Simbond SOI, сочетающую изоляция и связывание кислорода, предложенная доктором Мэн Ченом в 2005 году. Новая технология сочетает в себе изоляцию и связывание закачкой кислорода.