Покрытие в тепловом поле полупроводниковых монокристаллов кремния

Детали с покрытием в горячем поле полупроводникового монокристалла кремния обычно наносятся методом CVD, включая пиролитическое углеродное покрытие.Покрытие из карбида кремнияиПокрытие из карбида тантала, каждый с разными характеристиками.

Общие моменты: подложка представляет собой изостатический графит высокой чистоты, обычно содержание золы менее 5 частей на миллион; покрытие применяется методом CVD; покрытие в основном состоит из 100% углерода или карбида кремния; после покрытия поверхность становится относительно плотной, газ, особенно пар кремния печи или газ оксида кремния, может быть в основном заблокирован; его собственное испарение пыли также очень мало.

Отличия: стандартная толщина покрытия, пиролитическое углеродное покрытие обычно составляет около 40 мкм; Покрытие из карбида кремния обычно наносится толщиной около 100 мкм, но в соответствии с различными потребностями клиентов может быть выполнено толщиной от 30 до 150 мкм, включая одно и два покрытия; Покрытие из карбида тантала обычно составляет 35±15 мкм.

Пиролитическое углеродное покрытие, его плотность эквивалентна плотности непористого графита, которая составляет около 2,2. Он имеет низкое удельное сопротивление и высокую теплопроводность в параллельном направлении поверхности, поэтому может поддерживать постоянную температуру поверхности, а также имеет низкий коэффициент теплового расширения и высокий модуль упругости. В перпендикулярном направлении поверхности коэффициент теплового расширения больше, а теплопроводность ниже.

Для изделий с покрытием из карбида кремния модуль упругости покрытия очень высок, в десятки раз превышает модуль упругости внутренней графитовой подложки, поэтому, чтобы избежать разрыва изделия, с ним необходимо обращаться осторожно.

Пиролитическое углеродное покрытие и покрытие из карбида кремния, содержание всех примесей составляет менее 5 частей на миллион, где содержание основного металлического элемента составляет менее 0,1 или 0,01 частей на миллион, более трудная работа с элементом бора составляет 0,01 или 0,15 частей на миллион.

Semicorex предлагает высококачественные покрытия CVD для полупроводников с индивидуальным обслуживанием. Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Контактный телефон +86-13567891907.

Электронная почта: sales@semicorex.com