Что такое диффузионная печь?

Диффузионная печь — это специализированное оборудование, используемое для контролируемого введения примесей в полупроводниковые пластины. Эти примеси, называемые легирующими примесями, изменяют электрические свойства полупроводников, позволяя изготавливать различные типы электронных компонентов. Этот процесс контролируемой диффузии имеет решающее значение для производства транзисторов, диодов и интегральных схем.

Диффузионные печи состоят из нескольких ключевых компонентов, включая технологические трубы, нагревательные элементы, механизмы воздухозаборника и системы управления. Технологическая трубка действует как камера, в которую помещается пластина. Он может выдерживать высокие температуры и агрессивные газы, что делает его идеальным материалом для этого применения.

Нагревательные элементы обеспечивают необходимое тепло для поднятия температуры печи до желаемого уровня. Температура в диффузионных печах обычно достигает 1200°C. Чтобы обеспечить равномерный нагрев, нагревательные элементы часто имеют спиральную форму.

Механизм подачи газа используется для подачи легирующего газа в печь. Обычные легирующие добавки включают бор, фосфор и мышьяк, в зависимости от желаемых электрических свойств конечного полупроводникового продукта. Система управления регулирует поток легирующего газа, обеспечивая точный контроль над процессом диффузии.

Диффузионные печи широко используются в полупроводниковой промышленности. Они используются в процессе легирования, создающего pn-переходы в транзисторах и диодах. Диффузионные печи также играют жизненно важную роль в производстве интегральных схем, в которых несколько слоев различных полупроводников укладываются друг на друга и соединяются между собой.

Кроме того, диффузионные печи необходимы для производства современных полупроводниковых устройств, таких как мощные МОП-транзисторы (металлооксидные полупроводниковые полевые транзисторы) и биполярные транзисторы с изолированным затвором (IGBT). Эти устройства настолько важны в силовой электронике и технологиях возобновляемых источников энергии, что диффузионные печи являются неотъемлемой частью их производства.

Диффузионные печи являются важным инструментом в производстве полупроводников, позволяющим контролируемое введение легирующих примесей в полупроводниковые пластины. Эти печи являются неотъемлемой частью производства различных полупроводниковых приборов, таких как транзисторы, диоды и интегральные схемы. По мере развития технологий возможности диффузионных печей продолжают расширяться, что позволяет осуществлять более точные и надежные производственные процессы. Полупроводниковая промышленность в значительной степени полагается на эти печи для удовлетворения растущего спроса на современное электронное оборудование.

Компания Semicorex производит детали из карбида кремния по индивидуальному заказу для диффузионных печей. Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Контактный телефон +86-13567891907.

Электронная почта: sales@semicorex.com