Что такое консольные весла?

При обработке полупроводниковых пластин для их нагрева используются специализированные печи. Эти печи содержат удлиненные цилиндрические трубы, в которых пластины размещаются на вафельных лодочках в заранее определенных и равноудаленных положениях. Чтобы гарантировать, что технологическое оборудование не тратит пластины впустую и выдерживает условия обработки внутри камеры, лодочки для пластин и другие устройства, используемые при обработке пластин, изготавливаются из таких материалов, как карбид кремния (SiC).

Вафельные лодочки, загруженные партией вафель, подлежащих обработке, расположены на длинных консольных лопастях. Эти лопатки можно вставлять и извлекать из трубчатых печей и реакторов. Весла состоят из сплющенной несущей секции, на которой можно держать одну или несколько лодок, и длинной ручки, расположенной на одном конце сплющенной несущей секции для удобства обращения.

Для получения наилучших компонентов при обработке полупроводников рекомендуется использовать консольную лопатку из рекристаллизованного карбида кремния с тонким слоем CVD SiC. Этот материал имеет высокую чистоту и является лучшим выбором для таких компонентов.

Компания Semicorex производит консольные лопасти по индивидуальному заказу с высококачественным покрытием CVD SiC. Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Контактный телефон +86-13567891907.

Электронная почта: sales@semicorex.com