О дефектах кристаллов SiC - Micropipe

Подложка SiC может иметь микроскопические дефекты, такие как дислокация резьбового винта (TSD), дислокация края резьбы (TED), дислокация базовой плоскости (BPD) и другие. Эти дефекты вызваны отклонениями в расположении атомов на атомном уровне. Кристаллы SiC также могут иметь макроскопические дислокации, такие как включения Si или C, микротрубки, гексагональные пустоты, полиморфы и т. Д. Эти дислокации обычно имеют большие размеры.

Одной из основных проблем при производстве SiC-устройств являются трехмерные микроструктуры, известные как «микротрубки» или «отверстия», которые обычно имеют размер 30-40 мкм и 0,1-5 мкм соответственно. Эти микротрубки имеют плотность 10-10³/см² и могут проникать в эпитаксиальный слой, что приводит к дефектам устройства. Они вызваны в первую очередь скоплением спиродислокаций и считаются основным препятствием в разработке устройств SiC.

Дефекты микротрубочек на подложке являются источником других дефектов, образующихся в эпитаксиальном слое в процессе роста, таких как пустоты, включения различных полиморфов, двойники и т. д. Поэтому самое главное, что необходимо сделать в процессе роста материала подложки. для высоковольтных и мощных устройств SiC заключается в уменьшении образования дефектов микротрубочек в объемных кристаллах SiC и предотвращении их попадания в эпитаксиальный слой.

Микротрубку можно рассматривать как небольшие ямки, и оптимизируя условия процесса, мы можем «заполнять ямки», чтобы уменьшить плотность микротрубки. Несколько исследований в литературе и экспериментальные данные показали, что испарительная эпитаксия, CVD-рост и жидкофазная эпитаксия могут заполнить микротрубку и уменьшить образование микротрубок и дислокаций.

Semicorex использует метод MOCVD для создания покрытий SiC, которые эффективно уменьшают плотность микротрубок, что приводит к получению продукции высочайшего качества. Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Контактный телефон +86-13567891907.

Электронная почта: sales@semicorex.com