Кремниевая карбисная пластина лодка

За каждым высокотемпературным процессом производства пластин находится тихий, но решающий игрок: лодка пластины. В качестве основного носителя, который непосредственно контактирует с кремниевой пластиной во время обработки пластин, его материал, стабильность и чистота напрямую связаны с конечным выходом чипа и стабильностью процесса. Среди различных материалов для носителей,карбид кремния (sic)Лодки постепенно заменяют традиционные кварцевые решения, становясь предпочтительным решением для передовых процессов и высококачественного оборудования.

Почему SIC пластины лодки?

С развитием узлов процесса ниже 7 нм и расширением высокотемпературных окон процессов традиционные лодки кварцевых пластин все чаще борются с точки зрения тепловой стабильности, контроля частиц и управления сроком службы.

Кремниевые карбидные лодки, однако, постепенно получают известность из -за следующих преимуществ:

1. стабильный при высоких температурах:

Они предлагают долгосрочные рабочие температуры 1350-1600 ° C, легко обрабатывая основные процессы, такие как сердечно-сосудистые процессы, диффузия и отжиг. Даже краткое воздействие температуры 1800 ° C не показывает размягчения или деформации, что делает их подходящими для более высокого оборудования, такого как монокристаллические карбидные печи.

2. Расширение Low и высокая стабильность теплового шока:

При низком коэффициенте термического расширения они могут выдерживать быстрое повышение и уменьшение температуры, сводя к минимуму структурное растрескивание, вызванное тепловым напряжением. Они поддерживают отличную морфологию и производительность в высокотемпературных, сложных атмосферах (таких как водород, азот, аммиак и фториды).

3. Слительная поверхность и чрезвычайно низкое загрязнение:

Высокая чистота материала с минимальными примесями металла. Низкая шероховатость поверхности, предотвращая вторичное загрязнение кремниевых пластин; Отличный контроль шероховатости поверхности, с RA ниже 0,1 мкм, подавляет выброс частиц и соответствует требованиям к чистым комнатам передовых процессов;

4. Огнетающее формование, точные конструкции лодок с точностью могут быть напрямую сформированы через бездом3D -печать, устраняя необходимость в форм, значительно повышая эффективность настройки; В сочетании с пятью осевыми технологиями обработки и вырезания проводов зубы лодки не имеют норра, предотвращая царапины на пластинах и обеспечивая плавную автоматическую обработку;

5. Высокая сила и долгая жизнь: 

Одна лодка может похвастаться высокой прочностью несущей и может одновременно поддерживать десятки до сотен 12-дюймовых пластин. По сравнению с традиционными кварцевыми лодками, средняя продолжительность жизни лодки в 5-10 раз больше, снижает частоту переключения оборудования и общую стоимость владения.

Сценарий приложения

Широкая адаптивностькремниевые карбидные пластины лодкиРасширяет свое применение за пределы полупроводникового поля на различные сценарии процессов высокотемпературных процессов, включая новые энергетические материалы, производство светодиодов и исследования ядерной энергии.

Полупроводниковая промышленность

Он подходит для ключевых процессов, таких как окисление, диффузия, осаждение сердечно-сосудистых заболеваний и ионная имплантация, что делает его незаменимым высокотемпературным носителем для линий процесса Sub-7NM.

Фотоэлектрическая промышленность

В новых технологиях аккумуляторов, таких как Topcon и HJT, лодки пластин используются в процессах высокотемпературных печей, таких как LPCVD и отжиг, помогая повысить энергоэффективность и скорость конверсии.

Полупроводники третьего поколения

Для эпитаксиальных процессов роста GAN и SIC в светодиодах они поддерживают субстраты карбида сапфира или кремния. Они выдерживают коррозионные газы, такие как NH₃ и HCL, поддерживая производство высокочастотных энергетических устройств.

Новые энергетические материалы и исследовательские высокотемпературные платформы

Поддерживает реакцию спекания катодных материалов литийной батареи и термообработку материалов ядерной промышленности, сочетание термостойкости, коррозионной устойчивости и чистоты.

Semicorex предлагает высокую чистотуИндивидуальные лодки SIC PAFEПолем Если у вас есть какие -либо запросы или вам нужны дополнительные данные, пожалуйста, не стесняйтесь связаться с нами.

Контактный телефон # +86-13567891907

Электронная почта: sales@semicorex.com