Керамические обогреватели

В переднем процессе (FEOL) производства полупроводниковпластинаДолжен быть подвергнут различным обработкам процесса, особенно в пластине должна быть нагрета до определенной температуры, и существуют строгие требования, потому что однородность температуры оказывает очень важное влияние на выход продукта; В то же время, полупроводниковое оборудование должно работать в присутствии вакуума, плазмы и химических газов, которые требуют использования керамических нагревателей.Керамические обогревателиявляются важными компонентами оборудования для осаждения с тонкой пленкой. Они используются в камере процесса и непосредственно связываются с пластиной, чтобы переносить и позволяют пластине получить стабильную и равномерную температуру процесса и реагировать с высокой точностью на поверхности пластины для генерации тонких пленок.

Поскольку оборудование для осаждения с тонким пленкой, используемое керамическими нагревателями, включает в себя высокие температуры, обычно используются керамические материалы в основном на нитриде алюминия (ALN). Потому что алюминиевый нитрид имеет электрическую изоляцию и превосходную теплопроводность; Кроме того, его коэффициент термического расширения близок к коэффициенту кремния, и он обладает отличной плазменной сопротивлением, он очень подходит для использования в качестве компонента полупроводникового оборудования.

Электростатические патроны (ESCS) в основном используются в оборудовании травления, в основном оксид алюминия (AL2O3). Поскольку сам электростатический патрон также содержит нагреватель, принимая сухое травление в качестве примера, необходимо контролировать пластину при определенной температуре в диапазоне -70 ~ 100 ℃ для поддержания определенной характеристики травления. Следовательно, пластина должна быть нагрета или рассеяна электростатическим патроном, чтобы точно контролировать температуру пластины. Кроме того, чтобы обеспечить однородность поверхности пластины, электростатический патрон часто должен увеличить зону контроля температуры, чтобы контролировать температуру каждой зоны контроля температуры отдельно для повышения выхода процесса. Конечно, с разработкой технологий различие между традиционными керамическими нагревателями и электростатическими патронами начало размыться. Некоторые керамические обогреватели имеют двойные функции высокотемпературного нагрева и электростатической адсорбции.

Керамический нагреватель включает в себя керамическую основу, которая несет пластину и цилиндрическое опорное тело, которое поддерживает ее на спине. Внутри или на поверхности керамического основания, в дополнение к элементу сопротивления (нагревательного слоя) для нагрева, существует также радиочастотный электрод (радиочастотный слой). Чтобы достичь быстрого нагрева и охлаждения, толщина керамического основания должна быть тонкой, но слишком тонкая также уменьшит жесткость. Опорно -корпус обогревателя, как правило, изготовлен из материала с коэффициентом теплового расширения, сходным с коэффициентом основания, поэтому опорное тело также часто изготовлено из нитрида алюминия. Нагреватель принимает уникальную структуру соединения вала (вала) внизу, которая может защитить терминалы и провода от воздействия плазменных и коррозионных химических газов. Входной и выпускной трубы теплопровода предоставляется в опорном корпусе, чтобы обеспечить равномерную температуру нагревателя. Основание и опорное тело химически связаны с связующим слоем.

Semicorex предлагает высококачественноекерамические обогревателиПолем Если у вас есть какие -либо запросы или вам нужны дополнительные данные, пожалуйста, не стесняйтесь связаться с нами.

Контактный телефон # +86-13567891907

Электронная почта: sales@semicorex.com