Вафельная лодочка из карбида кремния

В производстве полупроводников окисление включает помещение пластины в высокотемпературную среду, где кислород течет по поверхности пластины, образуя оксидный слой. Это защищает пластину от химических примесей, предотвращает попадание тока утечки в схему, предотвращает диффузию при ионной имплантации и предотвращает проскальзывание пластины при травлении, образуя защитную пленку на поверхности пластины. Оборудование, используемое на этом этапе, представляет собой окислительную печь. Основные компоненты реакционной камеры включают в себя пластинчатую лодочку, основание, трубы футеровки печи, внутренние трубы печи и теплоизоляционные перегородки. Из-за высокой рабочей температуры требования к производительности компонентов реакционной камеры также высоки.

The вафельный корабликиспользуется в качестве носителя для транспортировки и обработки пластин. Он должен обладать такими преимуществами, как высокая интеграция, высокая надежность, антистатические свойства, устойчивость к высоким температурам, износостойкость, устойчивость к деформации, хорошая стабильность и длительный срок службы. Поскольку температура окисления пластин составляет примерно от 800 ℃ до 1300 ℃, а требования к содержанию металлических примесей в окружающей среде чрезвычайно строгие, ключевые компоненты, такие как вафельная лодочка, должны не только иметь отличные термические, механические и химические свойства, но также иметь чрезвычайно низкое содержание металлических примесей. В зависимости от подложки их можно разделить на лодочки для кварцевых пластин, лодочки для керамических пластин из карбида кремния и т. д. Однако с развитием технологических узлов ниже 7 нм и расширением высокотемпературных технологических окон традиционные кварцевые лодочки постепенно становятся неадекватными с точки зрения термической стабильности, контроля частиц и управления сроком службы. Лодочки из карбида кремния (SiC) постепенно вытесняют традиционные кварцевые решения.

1. Производство полупроводников

В высокотемпературных процессах производства чипов, таких как окисление, диффузия, химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и ионная имплантация, лодочки из SiC используются для поддержки кремниевых пластин, гарантируя, что пластины остаются плоскими при высоких температурах и предотвращая смещение решетки или деформацию, вызванную термическим напряжением, тем самым гарантируя точность и производительность чипа.

2. Фотоэлектрическая промышленность

Керамика из карбида кремния обладает превосходной механической прочностью, термической стабильностью, устойчивостью к высоким температурам, стойкостью к окислению, термостойкостью и стойкостью к химической коррозии и широко используется в таких популярных областях, как металлургия, машиностроение, новая энергетика и химия строительных материалов. Его производительности также достаточно для термических процессов в фотоэлектрическом производстве, таких как диффузия, LPCVD (химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении) и PECVD (плазмохимическое осаждение из паровой фазы) для элементов TOPcon. По сравнению с традиционными кварцевыми материалами карбидокремниевые керамические материалы, используемые для изготовления опор лодок, небольших лодок и трубчатых изделий, обладают более высокой прочностью, лучшей термической стабильностью и отсутствием деформации при высоких температурах. Их срок службы также более чем в пять раз превышает срок службы кварцевых ламп, что значительно снижает эксплуатационные расходы и потери энергии из-за простоев при обслуживании. Это приводит к явному экономическому преимуществу, а сырье широко доступно.

3. Полупроводниковая промышленность третьего поколения

В реакционных камерах металлоорганического химического осаждения из газовой фазы (MOCVD) лодочки из карбида кремния используются для поддержки сапфировых подложек, устойчивых к агрессивным газовым средам, таким как аммиак (NH3), поддерживающих эпитаксиальный рост полупроводниковых материалов третьего поколения, таких как нитрид галлия (GaN), и улучшающих светоотдачу и производительность светодиодных чипов. При выращивании монокристаллов карбида кремния лодочки из карбида кремния служат опорами для затравочных кристаллов в печах для выращивания монокристаллов карбида кремния, выдерживая высокотемпературную коррозионную среду расплавленного кремния, обеспечивая стабильную поддержку для роста монокристаллов карбида кремния и способствуя получению высококачественных монокристаллов карбида кремния.

Semicorex поставляет высококачественную SiC-керамикувафельные кораблики. Наша продукция обеспечивает превосходную термическую стабильность, увеличенный срок службы и исключительную стабильность технологического процесса. Для получения индивидуальных решений или дополнительной технической информации, пожалуйста, свяжитесь с нашей командой инженеров.

Телефон: +86-13567891907

Электронная почта: sales@semicorex.com