Резка карбида кремния

Карбид кремния (SiC)высоко ценится в полупроводниковой промышленности благодаря своим превосходным физическим и химическим свойствам. Однако высокая твердость и хрупкостьКарбид кремниясоздают значительные трудности при их обработке.

Резка алмазной проволокой широко используетсяКарбид кремнияметод резки и подходит для изготовления пластин SiC большого размера.

Преимущество:

Высокая эффективность: благодаря высокой скорости резки технология резки алмазной проволокой стала предпочтительным методом массового производства пластин SiC большого размера, что значительно повышает эффективность производства.

Низкое термическое повреждение: по сравнению с традиционными методами резки при резке алмазным канатом во время работы выделяется меньше тепла, что эффективно снижает термическое повреждение кристаллов SiC и сохраняет целостность материала.

Хорошее качество поверхности: шероховатость поверхности пластины SiC, полученной после резки, невелика, что обеспечивает хорошую основу для последующих процессов шлифования и полировки и помогает добиться более качественной обработки поверхности.

недостаток:

Высокая стоимость оборудования: оборудование для резки алмазным канатом требует высоких первоначальных инвестиций, а затраты на техническое обслуживание также высоки, что может увеличить общую стоимость производства.

Потеря проволоки. Алмазный канат изнашивается в процессе непрерывной резки, и его необходимо регулярно заменять, что не только увеличивает стоимость материала, но и увеличивает объем работ по техническому обслуживанию.

Ограниченная точность резки. Хотя резка алмазной проволокой хорошо работает в обычных условиях, ее точность резки может не соответствовать более строгим требованиям, когда необходимо обрабатывать сложные формы или микроструктуры.

Несмотря на некоторые проблемы, технология резки алмазной проволокой остается мощным инструментом в производстве пластин SiC. Поскольку технология продолжает развиваться, а экономическая эффективность повышается, ожидается, что этот метод будет играть все большую роль вКарбид кремния пластинаобработка в будущем.