Почему стоит выбрать графитовые токоприемники с покрытием SiC?

Графитовый токоприемникявляется одной из основных частей оборудования MOCVD, является носителем и нагревателем подложки пластины. Его свойства термической стабильности и термической однородности играют решающую роль в качестве эпитаксиального роста пластин, что напрямую определяет однородность и чистоту материалов слоя, в результате чего его качество напрямую влияет на подготовку к эпитаксии. Между тем, с увеличением количества использований и изменений условий работы его очень легко потерять, и он относится к расходным материалам. Превосходная теплопроводность и стабильность графита делают его хорошим преимуществом.базовый компонент для оборудования MOCVD. Однако, если используется только чистый графит, он столкнется с некоторыми проблемами. В производственном процессе будут присутствовать коррозионные газы и металлорганические остатки, а графитовая основа будет разъедать и выпадать порошок, что значительно сокращает срок службыграфитовый токоприемник, а выпавший графитовый порошок также загрязняет чип, поэтому в процессе подготовки основания также необходимо решить эти проблемы во время подготовки основания. Технология покрытия может обеспечить фиксацию порошка на поверхности, повысить теплопроводность и выровнять распределение тепла, что становится основной технологией для решения этой проблемы. Основная технология заключается в решении этой проблемы. В зависимости от среды применения и требованийграфитовые токоприемники, поверхностное покрытие должно иметь следующие характеристики.

Высокая плотность и полная обертка: графитовая основа в целом находится в высокотемпературной, агрессивной рабочей среде, поверхность должна быть полностью обернута, а покрытие должно иметь хорошую плотность, чтобы играть хорошую защитную роль.

Хорошая плоскостность поверхности: Поскольку графитовая основа, используемая для выращивания монокристаллов, требует очень высокой плоскостности поверхности, первоначальная плоскостность основы должна быть сохранена после подготовки покрытия, т.е. поверхность покрытия должна быть однородной.

Хорошая прочность сцепления: уменьшение разницы коэффициентов теплового расширения между графитовой основой и материалом покрытия может эффективно улучшить прочность сцепления между ними, а покрытие не легко растрескивается после высокотемпературных и низкотемпературных термических циклов.

Высокая теплопроводность: качественный рост стружки требует быстрого и равномерного нагрева графитовой основы, поэтому материал покрытия должен иметь высокую теплопроводность.

Высокая температура плавления, высокотемпературное окисление и коррозионная стойкость: покрытие должно стабильно работать при высоких температурах и агрессивных рабочих средах.