Кварцевые изделия в полупроводниковых приложениях

В полупроводниковой промышленности кварц широко используется, а изделия из кварца высокой чистоты являются еще более важным расходным материалом при производстве пластин. При производстве кремниевых монокристаллических тиглей, хрустальных лодочек, сердечников диффузионных печей и других кварцевых компонентов необходимо использовать изделия из кварцевого стекла высокой чистоты. Кварцевые детали в области полупроводников, основные целевые рыночные приложения для процесса диффузии и травления при литье пластин, можно разделить на две категории: устройства с высокотемпературной зоной и устройства с низкотемпературной зоной, в которых будут использоваться следующие основные устройства:

1) Устройства с высокотемпературной зоной представляют собой в основном диффузионное окисление, а другие аспекты использования печных трубок, стеллажей для стеклянных лодок и т. д. должны находиться в высокотемпературной среде, прямо или косвенно контактируя с кремниевой пластиной; в основном закупка материалов из электроплавленного кварцевого стекла, полученных путем термической обработки;

2) Устройства для низкотемпературных зон в основном представляют собой травильные звенья, такие как кварцевые кольца, но также включают в себя корзины для процесса очистки, резервуары для очистки и т. д., которые в основном используются в низкотемпературных средах; в основном закупается газорафинированное кварцевое стекло, путем холодной обработки производства

Среди них устройства с высокотемпературной зоной потребляют быстрее, но аналогично многочиповой машине (носитель для переноски более одной пластины), устройства с низкотемпературной зоной потребляют медленнее, но монолитно (носитель для переноски пластины) ; Таким образом, два общих размера рынка относительно близки друг к другу.