Покрытия из карбида тантала в полупроводниковой промышленности

Разработка мощных синих и УФ-светодиодов позволила создать полноцветные светодиодные телевизионные дисплеи, а также белые светодиоды для автомобильного и бытового освещения. Эти светодиоды основаны на нитриде галлия, который наносится на пластины-подложки, поддерживаемые графитовым токоприемником с CVD-покрытием SiC с использованием процесса MOCVD. Однако покрытие SiC подвергается воздействию используемого в процессе газообразного аммиака, что сокращает срок его службы. Чтобы увеличить срок службы покрытия и снизить общую стоимость, отрасль нуждается в новом, более инертном варианте покрытия. Карбид тантала рассматривается в качестве замены, поскольку он может значительно повысить устойчивость к этой агрессивной атмосфере и обеспечить решение, которое в настоящее время недоступно. Semicorex продает графитовые детали с CVD-покрытием TaC поставщикам полупроводниковой промышленности.

Наши изделия из графита с покрытием TaC известны своей превосходной термостойкостью по сравнению с изделиями из графита с покрытием SiC. В результате они широко используются при обработке полупроводников, например, при эпитаксиальном процессе пластин SiC, которые используются при более высоких температурах. Спрос на нашу продукцию растет вместе с ростом рынка.

Semicorex предлагает высококачественные графитовые детали с покрытием TaC и индивидуальное обслуживание. Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Контактный телефон +86-13567891907.

Электронная почта: sales@semicorex.com