Конструктивные различия между разными типами реакторов

В зависимости от конфигурации реакционной камеры оборудование для термообработки (печное трубчатое оборудование) в основном делится на три категории: вертикальные печные трубы, горизонтальные печные трубы и печи быстрой термической обработки (RTP).

Вертикальные печи имеют вертикально расположенные кварцевые трубки, вокруг которых расположены пластины для нагрева. Их основными преимуществами являются равномерное распределение температуры, точный контроль атмосферы, высокая степень автоматизации, меньшее загрязнение твердыми частицами, небольшая занимаемая площадь и поддержка пакетной обработки (особенно подходит для 12-дюймовых пластин), что делает их основным оборудованием, доступным в настоящее время. Объем мирового рынка в 2024 году достиг $3,2 млрд (данные SEMI). К их недостаткам относятся легкое разделение газа и жидкости, а также нисходящий поток среды, который может привести к выгоранию топочной трубы.

Горизонтальные печи имеют горизонтально расположенные кварцевые трубки, обрабатывающие 100-200 пластин за раз. К их преимуществам относятся равномерный поток газа и жидкости внутри топочной трубы и более точный контроль температуры. К их недостаткам относятся большая занимаемая площадь и больший расход промежуточных трубчатых опор из высоколегированной стали. Конструктивно горизонтальные трубы печи размещают пластины вертикально внутри горизонтальных труб для обработки.

В печах быстрого термического отжига (RTP) используются галогенные инфракрасные лампы для быстрого нагрева отдельных пластин, обеспечивая высокую скорость нагрева и охлаждения, при которой изменяется только температура пластины без изменения температуры камеры. Они подходят для мелкосерийного быстрого отжига, но не подходят для массового производства.

При обработке пластин горизонтальные печи помещают пластину на кварцевую лодочку, которая, в свою очередь, опирается на опорную раму из карбида кремния (SiC). Затем опорную раму вставляют в трубу кварцевой печи, где пластина подвергается реакции в зоне постоянной температуры. С другой стороны, вертикальные печи помещают пластину на кварцевую башню и медленно поднимают ее в трубу кварцевой печи для обработки. После реакции пластину медленно опускают, чтобы предотвратить изгиб или поломку.

Semicorex поставляет высококачественные индивидуальныереактор с кварцевой печью. Наша продукция обеспечивает превосходную термическую стабильность, увеличенный срок службы и исключительную стабильность технологического процесса. Для получения индивидуальных решений или дополнительной технической информации, пожалуйста, свяжитесь с нашей командой инженеров.

Телефон: +86-13567891907

Электронная почта: sales@semicorex.com