Semicorex Ceramic применяется при обработке полупроводников

С развитием технологий интеллектуальные продукты, такие как мобильные телефоны, компьютеры, электромобили и роботы, стали интегрированы в жизнь людей. Эти продукты содержат большое количество полупроводниковых чипов, а для изготовления чипов требуется полупроводниковое оборудование, такое как травильные машины, литографические машины и устройства для ионной имплантации. Вскрытие полупроводникового устройства показывает, что большинство его компонентов представляют собой керамические детали. Керамические детали обладают превосходными свойствами, такими как устойчивость к высоким температурам, коррозионная стойкость, высокая точность и высокая прочность, что делает их хорошо подходящими для использования в полупроводниковом оборудовании. Большинство керамических деталей, являющихся ключевыми компонентами в процессах производства полупроводников, непосредственно контактируют с пластиной, что обеспечивает высокоточный контроль, а также быстрый нагрев и охлаждение температуры поверхности пластины.

Полупроводниковые керамические детали относятся к современной керамике, а используемые керамические материалы обычно включают оксид алюминия, карбид кремния, нитрид алюминия, нитрид кремния и оксид иттрия. Способы формования керамических изделий обычно включают сухое прессование, ленточное литье, литье под давлением, горячее изостатическое прессование, холодное изостатическое прессование, шликерное литье, экструзионное формование, горячее литье под давлением, гелевое литье и литье с прямым затвердеванием.

1. Сухое прессование

Сухое прессование — распространенный процесс производства полупроводниковых компонентов. Этот процесс в первую очередь включает в себя засыпку гранулированного порошка с подходящим гранулометрическим составом в полость металлической формы и приложение давления с помощью напорного напора. Напорная головка перемещается внутри полости формы, передавая давление на частицы порошка и уплотняя их, в конечном итоге образуя керамическую заготовку определенной формы и прочности.

2. Кастинг

Литье — это технология мокрого формования, позволяющая производить керамические заготовки толщиной от десятков микрометров до миллиметров за один процесс. Керамическая суспензия с хорошей вязкостью и дисперсией стекает из канавки для суспензии литейной машины на подложку. Жидкость растекается, и под действием поверхностного натяжения образуется заготовка с гладкой верхней поверхностью. Заготовка вместе с подложкой отправляется в сушильную камеру. После испарения растворителя органическое связующее образует сетку между керамическими частицами, создавая заготовку определенной прочности и гибкости. Высушенную заготовку отделяют от подложки и скатывают для дальнейшего использования. Дальнейшая обработка, такая как резка, штамповка и прошивка с последующим обжигом, завершает процесс изготовления изделия.

3. Литье под давлением

Литье под давлением – это новая технология изготовления керамических деталей. Производственный процесс в основном состоит из четырех этапов: подготовка литьевого материала, литье под давлением, удаление связующих и спекание. Его обычно используют для изготовления небольших керамических деталей сложной геометрии и особых требований.

4. Изостатическое прессование

Изостатическое прессование включает горячее изостатическое прессование и холодное изостатическое прессование. Изостатическое прессование позволяет передавать давление со всех сторон, обеспечивая тем самым уплотнение листового материала.

1) Процесс горячего изостатического прессования

Этот метод усиливает диффузию атомов при высокой температуре и давлении, заставляя поры в керамике мигрировать к границам зерен или поверхности заготовки, тем самым уменьшая или устраняя пористость. При горячем изостатическом прессовании используются тонкостенные предварительно напряженные намоточные узлы, что обеспечивает равномерное и быстрое охлаждение, что значительно повышает эффективность производства по сравнению с естественным охлаждением.

2) Процесс холодного изостатического прессования

В этом методе к керамическому или металлическому порошку применяется давление 100–600 МПа при комнатной температуре или немного более высоких температурах (<93 ℃) для получения «сырого тела», которое затем спекается до окончательной прочности.

5. Скольжение литья

Шликерное литье — широко используемый метод формования в крупномасштабном производстве керамики. Он включает впрыскивание суспензии с высоким содержанием твердых веществ и хорошей текучестью в пористую гипсовую форму. За счет капиллярного всасывания пористой формы вода вытягивается из суспензии внутренней стенкой формы, образуя затвердевшее сырое тело вдоль стенки формы. Как только зеленое тело достигнет определенной прочности, его можно будет разобрать.

6. Экструзионное формование

Формование экструзией включает смешивание керамического порошка, глины или органического связующего вещества и воды, многократное замешивание, вакуумную дегазацию и старение, чтобы придать экструдированному сырому телу хорошую пластичность и однородность. Затем под действием экструзионного шнека или плунжера он выдавливается через матрицу на сопле экструдера для получения изделия желаемой формы.

7. Горячее прессование.

При литье под горячим прессом в основном используется свойство парафина плавиться при нагревании и затвердевать при охлаждении. Керамический порошок и горячий парафин равномерно смешиваются с образованием текучей суспензии. Под определенным давлением суспензия впрыскивается в металлическую форму для формирования неспеченного изделия. После охлаждения и затвердевания сырое тело извлекают из формы и удаляют. Затем сырое тело обрезается, депарафинируется при высокой температуре и, наконец, спекается для получения готового продукта.

8. Отливка геля

Отливка геля включает диспергирование керамического порошка в растворе, содержащем органические вещества, для приготовления суспензии с высоким содержанием твердых веществ. Эту суспензию затем впрыскивают в форму определенной формы. В определенных каталитических и температурных условиях органические мономеры полимеризуются, образуют гель, затвердевают суспензию на месте и высыхают, в результате чего образуется сырое тело высокой прочности.

9. Литье с прямым затвердеванием

Литье с прямой закалкой — это новый метод формирования коллоидных структур керамической сетки с сетчатым размером. Этот метод сочетает в себе традиционную керамическую технологию с химической теорией, используя катализаторы или инициаторы для создания поперечных связей органических мономеров, добавляемых в суспензию, образуя сетчатую структуру, которая приводит к затвердеванию на месте.

Semicorex предлагает различныекерамические компоненты. Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Контактный телефон +86-13567891907.

Электронная почта: sales@semicorex.com