Вакуумный патрон из пористого оксида алюминия

Вакуумный патрон соединяется с вакуумным оборудованием через соединительную трубку. Когда вакуумный патрон вступает в контакт с заготовкой, например пластиной/тонкопленочным материалом, вакуумное оборудование начинает работать, создавая отрицательное давление внутри вакуумного патрона. Под атмосферным давлением заготовка прочно прилегает к вакуумному патрону, что позволяет проводить обработку. После завершения обработки вакуумное оборудование перестает работать и медленно наполняет вакуумный патрон газом, автоматически отделяя заготовку от патрона. На этом зажим, обработка и перемещение заготовки завершаются.

Основная цель полупроводниковой фотолитографии — «напечатать» миллиарды рисунков транзисторных схем на пластине с точностью нанометрового уровня. Суть «фотолитографии» заключается в использовании источника света для облучения высокосветочувствительного фоторезиста, вызывающего химическую реакцию, которая травит схему. Однако когда источник света облучает пластину, он неизбежно светит и на электростатический патрон, который служит держателем пластины. Возникающий в результате отраженный вторичный свет может помешать процессу фотолитографии, вызывая экспозицию в непредусмотренных областях и повреждая схему. Таким образом, черная поверхность вакуумного патрона сводит к минимуму отражения, обеспечивая требования точности системы фотолитографии. Благодаря этой способности черный оксид алюминия может широко использоваться не только в электростатических патронах, но и в сценариях «светоподавления». Наступление эпохи искусственного интеллекта привело к значительному развитию приложений оптической связи, а подложки из черного оксида алюминия часто можно увидеть в упаковках оптоэлектронных устройств и светоизлучающих элементов.

Черная глиноземная керамикаИзготовлен в основном из Al2O3 с добавлением оксидов переходных металлов в качестве красителей и спекающих добавок, спекается при определенной температуре. Краситель является важнейшим компонентом керамики этого типа, определяющим ее окончательный цвет. При выборе красителей для вакуумных патронов важно обеспечить степень цветности, механическую прочность, пористость и размер пор вакуумного патрона.

В настоящее время широко используемые оксиды переходных металлов в качестве красителей как внутри страны, так и за рубежом, включают Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 и MnO2, причем наиболее распространенными являются Fe2O3, CoO, NiO и MnO2. Поскольку оксид алюминия менее летуч при высоких температурах, а оксиды переходных металлов — наоборот, их летучесть увеличивается с температурой. Эти оксиды при высокотемпературном спекании образуют соединения типа шпинели, что снижает их летучесть. Поэтому для подавления улетучивания оксидов переходных металлов необходимо выбирать соответствующие условия процесса, позволяющие им объединяться в соединения типа шпинели при более низких температурах.

Semicorex предлагает таможнюпористый керамический вакуумный патрон. Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Контактный телефон +86-13567891907.

Электронная почта: sales@semicorex.com