Что такое стеклянные вафли?

С развитием полупроводниковых и оптических технологий,стеклянные вафликак новый тип стеклянных изделий, постепенно становятся дополнением кремниевых пластин, демонстрируя большой потенциал в области высоких технологий. Что такое стеклянные вафли? Стеклянные пластины представляют собой высокоэффективные круглые тонкие пластинки, обычно изготовленные из кварцевого стекла, бесщелочного стекла или композитов стекло-кремний. Обладая превосходными физическими и химическими свойствами, они играют незаменимую роль в передовых областях производства, таких как производство полупроводников, оптика, МЭМС, бытовая электроника, биомедицина и лабораторные исследования.

Основные материалы для стеклянных пластин

1.Кварцевое стекло в дальнем ультрафиолете

Дальний ультрафиолеткварцСтекло изготавливается методом химического осаждения из паровой фазы, при котором газообразный тетрахлорид кремния подвергается газофазной реакции в грейферном пламени с образованием аморфного диоксида кремния, который затем осаждается на кварцевую подложку для постепенного роста и формирования. Этот материал содержит большое количество гидроксильных групп (950-1400 ppm) при небольшом общем количестве металлических примесей менее 0,2 ppm. Благодаря своим превосходным свойствам, таким как противоизлучительные свойства, оптическая однородность и высокий коэффициент пропускания ультрафиолета (особенно в дальней ультрафиолетовой области), кварцевое стекло для дальнего ультрафиолета широко применяется в области оптики дальнего ультрафиолета.

Однако широкомасштабное применение кварцевого стекла дальнего ультрафиолета в некоторой степени ограничено такими факторами, как полосовые дефекты, которые легко образуются в процессе приготовления, сложность формования крупногабаритных и сложных по форме изделий, а также относительно высокая себестоимость производства.

2. Ультрафиолетовое оптическое кварцевое стекло:

Ультрафиолетовое оптическое кварцевое стекло методом пламенной плавки производится путем плавления природного кристалла в кислородно-водородном пламени с последующим осаждением на поверхность мишеней из плавленого кварцевого стекла. Ультрафиолетовое оптическое кварцевое стекло с содержанием гидроксила 150-400 ppm обладает исключительными преимуществами, такими как высокий коэффициент пропускания ультрафиолета, высокая химическая стабильность, хорошая термическая стабильность и высокая механическая прочность. Благодаря отлаженному производственному процессу и высокой экономической эффективности ультрафиолетовое оптическое кварцевое стекло широко используется в электронной и полупроводниковой промышленности.

Однако ультрафиолетовое оптическое кварцевое стекло имеет плохую оптическую однородность и может содержать микроскопические дефекты, такие как полосы и микропузырьки, которые могут повлиять на качество оптического изображения и стабильность передачи лазера.

3.Инфракрасное оптическое кварцевое стекло:

Инфракрасное оптическое кварцевое стекло производится путем плавления кристаллического порошка с использованием процесса вакуумной электросварки. Этот материал имеет низкое содержание гидроксила (<5 ppm), что обеспечивает превосходное пропускание инфракрасного излучения. Благодаря превосходному коэффициенту пропускания инфракрасного излучения, хорошим химическим свойствам, высокой механической прочности и продуманной технологии изготовления инфракрасное оптическое кварцевое стекло широко используется в инфракрасной оптике.

Однако инфракрасное оптическое кварцевое стекло содержит большое количество металлических примесей и обеспечивает относительно низкий порог лазерного повреждения, что делает его непригодным для лазерных применений с высокой плотностью энергии и сценариев, требующих чрезвычайно высокого пропускания дальнего ультрафиолета.