Какова функция колец фокусировки?

Кольца фокусировки являются важными компонентами, обеспечивающими однородность и стабильность процессов травления полупроводников. Благодаря точному контролю электрических и тепловых полей кольца фокусировки могут концентрировать плазму на поверхности пластины, обеспечивая стабильные результаты травления во всех местах пластины.

Функции колец фокусировки

1. Улучшение однородности травления.

В процессе травления кольца фокусировки могут концентрировать плазму на объекте.вафляповерхность, которая эффективно гарантирует равномерную плотность плазмы, угол бомбардировки ионами и уровни энергии как по краю пластины, так и по центру. Они корректируют распределение электрического поля на краю пластины, уменьшая скорость травления, критические размеры и изменения морфологии, вызванные краевыми эффектами, тем самым обеспечивая однородность травления по всей поверхности пластины. Если кольцо фокусировки чрезмерно изношено или его нет, плазма будет диффундировать от края пластины, что в конечном итоге приведет к несоответствующим отклонениям ширины линии между краевой и центральной областями.

2. Защитите электростатический патрон.

Кольца фокусировки обычно устанавливаются за пределами поверхности держателя пластины электростатических патронов, непосредственно подвергаясь плазменной бомбардировке и коррозии. Эта установка служит физическим барьером, предотвращающим контакт плазмы с электростатическими патронами во время процесса травления, тем самым значительно снижая риск повреждения плазмой. Кольца фокусировки также могут предотвратить прилипание побочных продуктов, образующихся в процессе травления, к электростатическим патронам, что позволяет избежать ухудшения производительности, вызванного загрязнением и засорением патрона. Это значительно продлевает цикл обслуживания и срок службы электростатических патронов, снижая затраты на обслуживание и замену оборудования.

Кольца фокусировки обычно изготавливаются из высокочистогокварц, кремнийикарбид кремнияматериалы. Благодаря своим превосходным комплексным характеристикам карбидокремниевые материалы постепенно становятся основным вариантом для передовых процессов травления. Являясь надежным поставщиком полупроводниковых колец фокусировки в Китае, компания Semicorex предлагает высококачественныекольца фокусировки из карбида кремнияразличных размеров, чтобы соответствовать различным требованиям травильного оборудования. Semicorex приветствует ваши запросы и покупки в любое время.