Графитовые обогреватели с проводящими покрытиями

АГрафитный обогреватель проводящего покрытияэто новый продукт, предназначенный для высокотемпературной полупроводниковой обработки и других вакуумных тепловых систем. Он использует хорошую тепловую стабильность графита высокой чистоты и превосходные характеристики поверхности кремниевого карбида (SIC) покрытия. Проводящий нагреватель графита с покрытием дополнительно дифференцируется своим слоем SIC, легированным азотом, который обеспечивает значительно улучшенную поверхностную проводимость, что делает его особенно хорошо подходящим для применений, которые нуждаются в контролируемых и даже нагревании с отличными электрическими характеристиками.

Нагреватель построен с помощью высокопрочного графитового субстрата, который действует как сердечный конструктивный и тепловой проводник. Графит был выбран, в частности, учитывая его высокий уровень теплопроводности, низкий коэффициент термического расширения и устойчивость к тепловому шоку. Эти характеристики делают графит подходящим базовым материалом в приложениях с высокой температурой процесса, где могут быть быстрые циклы отопления и охлаждения. Тем не менее, сам нетронутый графит химически реактивен в определенных атмосферах и может испытывать повреждение поверхности или деградацию, излучение частиц или перенос во время расширенного использования, особенно в условиях полупроводниковых чистых комнат.

Чтобы преодолеть эти ограничения, часть графита покрыта толстым SIC-слоем высокой чистоты. Покрытие SIC выполняет несколько функций: оно обеспечивает уровень защиты от окисления и химической коррозии, обеспечивает очень твердую износостойкую поверхность и обеспечивает совместимость со стандартами вакуума и чистой комнаты. SIC имеет репутацию экстремальной твердости, высокой теплопроводности и химической инертности; По этой причине это отличный материал для покрытия для высокопроизводительных тепловых компонентов.

Уникальным инновациями этого продукта является легирование азота SIC Covert. Во время процесса химического осаждения пара (CVD) атомы азота встроены в решетку SIC, производя свободные носители, что может значительно уменьшить его поверхностное удельное сопротивление и, следовательно, создать проводящий поверхностный слой и позволяет току проходить непосредственно, а не использование точки доступа, с помощью SIC -покрытия, тем самым позволяя всему компоненту графита действовать в качестве резитивного нагревательного элемента.

КлассикSIC покрытияявляются изолятивными, что действительно ограничивает их в сфере активного электрического применения. И наоборот, слой SIC, легированный азотом на обогревателе, обладает чрезвычайно низким сопротивлением поверхности, при этом сохраняя все механические и химические преимущества классического SIC. Проводящий слой обеспечивает очень хорошую однородность тока и сводит к минимуму потери мощности при улучшении теплового распределения на поверхности нагревателя. Он особенно идеально подходит для применения точного нагрева в условиях, часто связанных с эпитаксиальными реакторами, диффузионными печи и оборудования быстрой тепловой обработки (RTP).

Геометрия обогревателя, обычно спиральная или серпантин, как показано на изображении, разработана и оптимизирована с целью создания равномерной тепловой выходной энергии и равномерной электрической нагрузки. При интегрированной конструкции графита и проводящего SIC -покрытия могут быть сделаны электрические контакты непосредственно на поверхность с покрытием, что устраняет необходимость в любых дополнительных электродах или металлическом соединении. Это снижает риски загрязнения и приводит к более простой сборке. Следовательно, общая эффективность улучшается.

Ключевые преимущества проводящегоSIC-покрытый графитный нагревательвключать:

Превосходная электрическая проводимость из -за легирования азота, обеспечивающего поток постоянного тока и эффективное резистивное нагревание.

Превосходная термическая однородность с точным контролем температуры по всей площади поверхности.

Высокая химическая устойчивость, особенно в коррозийных средах, таких как водород, аммиак или богатая галогенами атмосфера.

Минимальная генерация частиц, удовлетворяющие строгие требования к чистоте полупроводникового изготовления.

Расширенный срок службы из -за механической долговечности и теплового сопротивления как графитового ядра, так и SIC.

Приложения для этого обогревателя распространяются на ряд передовых технологических отраслей. Нагреватель найдет место в процессах производства полупроводников, таких как химическое осаждение паров (CVD), эпитаксия молекулярного луча (MBE) и отжиг пластин, где точный контроль температуры и чистота материалов является критическим. Графитовый нагреватель, покрытый SIC, также может использоваться в фотоэлектрическом производстве, спекании передовой керамики и в других тепловых процессах, где требуются более высокая производительность, долговечность и надежные обогреватели.

Таким образом, проводящий графитный нагреватель, покрытый SIC, является впечатляющим прогрессом в разработке тепловых компонентов. Используя покрытие SIC, легированное азотом, мы разработали эффективный тепловой продукт, который успешно объединяет химическую стабильность покрытия SIC с электрической проводимостью. Таким образом, создание теплового процесса, который является более эффективным, чистым и более надежным для наиболее требовательных промышленных применений. Полупроводниковые и материалы индустрии сталкиваются с постоянными изменениями, и гибридные материалы такого рода станут все более важными для обеспечения будущего более передовых технологий для производства.

Semicorex предлагает высококачественноеграфитовые обогреватели с покрытиемпродукция Если у вас есть какие -либо запросы или вам нужны дополнительные данные, пожалуйста, не стесняйтесь связаться с нами.

Контактный телефон # +86-13567891907

Электронная почта: sales@semicorex.com