Колпак из кварцевого стекла

Колпак Semicorex из кварцевого стекла представляет собой колоколообразный реакционный купол, который обычно используется в сочетании с высокогерметичными фланцами или уплотнительными кольцами для создания вакуума и среды, свободной от загрязнений. Например, в производстве полупроводников наши колпаки из кварцевого стекла могут служить защитными барьерами и герметичными реакционными камерами, которые широко применяются при восстановлении поликремния, химическом осаждении из паровой фазы и эпитаксиальном выращивании.

Преимущества колпаков из кварцевого стекла Semicorex

1. Высокая чистота материала.

Semicorex использует высокочистыекварцевые материалыДля изготовления наших колпаков из кварцевого стекла содержание в них металлических элементов (таких как Na, K и Fe) и гидроксильных групп контролируется в чрезвычайно низком диапазоне, что позволяет избежать загрязнения реакционной камеры примесями, газообразным водородом и водяным паром, выделяющимися при высоких температурах.

2. Надежная термическая стабильность.

Семикорексколпаки из кварцевого стекламожет стабильно работать в условиях высоких температур ниже 1200°C в течение длительного времени. Наши колпаки из кварцевого стекла сохраняют минимальные изменения размеров во время резких циклов нагрева и охлаждения, чтобы избежать риска деформации и поломки из-за их сверхнизкого коэффициента теплового расширения.

3. Сильная химическая инертность.

Колпаковы из кварцевого стекла Semicorex обладают превосходной коррозионной стойкостью к кислотам (кроме плавиковой кислоты), щелочам и другим технологическим газам как при комнатной температуре, так и при высоких температурах, что существенно предотвращает загрязнение обрабатываемых полупроводниковых материалов от самих компонентов, одновременно продлевая срок их службы.

4. Превосходные оптические характеристики

Колпак Semicorex из кварцевого стекла полностью прозрачен, что позволяет осуществлять мониторинг в режиме реального времени и своевременную корректировку параметров. Благодаря высокому пропусканию ультрафиолетового, инфракрасного и видимого света колпаки Semicorex из кварцевого стекла хорошо подходят для применений, требующих равномерного пропускания света или фотонагрева.

5. Гибкая совместимость

Semicorex предоставляет нашим клиентам нестандартные услуги по настройке. Наши колпаки из кварцевого стекла могут быть изготовлены по индивидуальному заказу на основе чертежей, предоставленных заказчиком. Параметры, включая чистоту материала, форму, размеры, толщину стенок и фланцев, могут строго соответствовать требованиям заказчика, чтобы обеспечить идеальное соответствие различным печным системам и оборудованию.